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第294章 突然提出收购徕卡?!(1 / 2)

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“EUV光源也已经有突破了?”

韩文韬还真不知道这点。

他是看到“北辰半导体”晶圆厂的制程工艺,突破90n,而且已经在追下一代:65n工艺。

一旦追上!

那代表着,“北辰半导体”在芯片制程工艺上,将完全不落后世界其他晶圆厂。

无论三星、台电!

甚至以韩文韬对“北辰半导体”的投入、支持力度……反超三星、台电,在制程工艺上,领先全球都不是没问题。

没想到,来“北辰精密”光刻机研究项目,还听到了更好的消息:EUV光刻机,已经有突破了!

“对,EUV激光器,我们已经弄出来了……就是有点不美观、很粗糙。”

“稳定性和精度,更是没法看!”

“物镜方面,精度也达不到,还在继续攻坚……”

光源团队、物镜团队,几个负责人都表示,EUV非常难。

也带韩文韬去看了第一代,EUV的激光器。

纯力大砖飞!

靠着大尺寸人造金刚石散热,强行弄出来的EUV激光器。

靠着大尺寸人造金刚石提升了八九倍散热,强行提升功率……想要实现EUV光刻机以每秒5万次(50kHz)的频率,精准轰击直径仅约30微米(比头发丝还细)的锡液滴,将其转化为等离子体并辐射出EUV光。

这个稳定性和精度,那是不用想的!

“可以!即便是大力飞砖,有这样一个原型,后面继续改进、优化就行!”

韩文韬对这个初代EUV大功率激光器,并不觉得失望。

激光器启动,只能击中一次锡液滴,将其转化为等离子体并辐射出EUV光。

想要每秒5万次(50kHz)的频率连续击中锡液滴?

难!

但是能解决光源问题,其实就已经解决了最核心的重要问题!

已经是非常、非常、非常大的进步。

未来,只需要继续优化激光器,提升稳定性和精度就行。

至于说物镜系统?

平面精度比头发丝直径还要细几百万分之一,反射率70%的布拉格反射镜。

这个即便是“北辰精密”的纳米磨料,想要做到这种精度,也不是那么简单的。

靠机器是做不到的。

“北辰精密”的精密打磨、抛光设备,再强、再精密!

也达不到这种精度!

这种精度的物镜,只能手工完成!

目前,长光所、科院光电所,几个老师傅已经过来,开始带队,每天醒来第一件事就是做布拉格反射镜!

不断失败!

不断失败!

慢慢向成功靠近!

这方面,韩文韬“原子重组”的能力也没办法。

光刻机的物镜,不可能靠他来手搓吧?

必须要能自主生产!

只能靠人工慢慢打磨。

用纳米磨料,不断打磨、抛光……培养手感。

这是真·大国工匠!

“韩教授,据我们所知,徕卡目前的经营情况似乎不是很好……”

“我们光刻机物镜方面,用的上他们的技术!”

“而且,我们之前还帮“北辰科技”手机镜片提供了一些技术,我觉得你可以考虑一下,拿下徕卡部分股份,对我们很有用!”

长光所这边过来的负责人,这时候开口提了一件事!

徕卡!?

韩文韬知道蔡司是光刻机光学系统供应商,镜片研磨精度达原子尺度,这项技术一直都没有替代方案。

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