第373章 涂了又改的流程图（2 / 2）
请关闭浏览器的阅读/畅读/小说模式并且关闭广告屏蔽过滤功能，避免出现内容无法显示或者段落错乱。
缺陷检测仪旁边的打印机刚吐出一张缺陷分布图，还带着机器的余温，一个年轻的技术员把它撕下来贴在墙上的记录板上。
林景义站在每台设备前面逐一介绍。
瑞银的陈志敏站在一台检测仪前面，仔细看了看上面的型号标签，然后直起身来。“你们检测标准对标的是JSR还是TOK？
瑞银新加坡的陈志敏站在一台检测仪前面，仔细看了看上面的型号标签，然后直起身来。“林博士，你们检测标准对标的是JSR还是TOK？”
“都测过。”林景义走到旁边一张检测数据对比表前面，上面列着几组数据，“这是去年底到今年初的几组对比数据。分辨率方面跟JSR的差距更小一些，但缺陷密度跟两家都还有差距——主要就是光敏剂批次稳定性导致的，新批次的稳定性已经在逐步改善了。”
詹姆斯·米勒用不太流利的中文开口，他的发音带着明显的老外风格。“样品分辨率做到多少纳米了？”
“目前实验室能做到90纳米，产线目标是稳定在90到130纳米之间。这对ArF光刻胶来说已经能覆盖大部分成熟制程的需求。”
詹姆斯点了点头。“九十纳米是个不错的起点。”
林深在检测报告展示区前面停下来，墙上贴着一排打印好的月度检测汇总表，他翻到最近一个月的那一页，一行一行往下看——分辨率、灵敏度、缺陷密度、线边缘粗糙度，每一项都标注了测试日期和样品批次号。数据总体在向好，但有几行的缺陷密度明显偏高。他用手指顺着那一行往右划，停在“备注”栏上。
备注栏里写着一行字——光敏剂批次波动。
跟林景义说的对得上。不是借口，是真问题。
IR总肖雪注意到林深在看那几行备注。她走过来，先等林深直起身才开口。。“那几批光敏剂是早期采购的批次，供应商那边的工艺也不太稳定。新批次的缺陷密度已经降下来了——大概比之前低了将近一个数量级。”
“那就好。”林深把检测报告放回原处。
参观完检测实验室，所有人走出洁净车间，脱下防尘服。更衣区又热闹起来——有人在揉耳朵，防尘服的松紧带勒得耳朵发红；有人把鞋套扔进回收筐，动作带着一种终于解脱了的轻松。
林深站在厂房门口，回看了一眼身后那片灰色的建筑群。阳光已经从云层后面完全出来了，厂房外立面上还没拆完的脚手架在阳光下投出细长的影子。
他把上午看到的几个关键点在笔记本上重新梳理了一遍：产线进度超预期，下个月全面完工，比投决会时预计的年底投产快了整整大半年。
树脂自给率约六成，光敏剂主要依赖日本供应商——这是供应链最大风险点。研发团队规模不大，但林景义的专业背景扎实，回答问题不打太极。检测数据波动与光敏剂批次有关，新批次稳定性已在改善。
周学明站在他旁边，手里还拿着手机，屏幕上是他刚才拍的工艺流程图。他把那张手绘的图放大，指着上面标注“光敏剂合成”那一栏给林深看。“林哥，林博士说光敏剂还要两三年才能自研成功，这个时间表你觉得靠谱吗？”
“他敢当着这么多机构的面说出来，说明至少内部是有明确路线的。但光敏剂的合成难度确实比树脂高——不是设备的问题，是工艺积累的问题。日本那边做了几十年才把批次稳定性控制住，我们想两三年追上来，得看研发团队的执行力。”
↑返回顶部↑