第372章 东大光电参观（2 / 2）
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穿过风淋室，空气明显变得干燥，百级洁净车间——每立方米空气中大于零点五微米的颗粒不能超过一百个，比医院手术室还要高好几个等级。新风系统的低频嗡鸣从头顶传下来，像一层若有若无的背景音，在这种环境下，连呼吸都变得格外清晰。
王金龙站在光刻胶调配区前面，指着那台TOKYOELE调配设备。“这台设备从安装到调试花了将近两个月，光刻胶对洁净度和工艺精度的要求是所有电子化学品里最高的。一个批次的配方稍微有一点偏差，客户一整片晶圆就报废了，所以工艺窗口必须卡得非常精准。”
林深看到到调配釜旁边有一辆小推车，上面放着几个深棕色的玻璃瓶，瓶身上贴着标签，标签的边缘有些发黄了。
他问王金龙：“王总，这些是第一批试产的样品？”
王金龙顺着他的目光看过去，沉默了片刻，然后开口，语速比刚才介绍设备时慢了半拍。“那是第一批试产的树脂，各项指标还差得很远。魏老把它摆在车间里，说让大家都看看——第一瓶不完美，没关系，后面一瓶一瓶做得更好就行。”
林深又看了一眼那几个瓶子，标签上的日期已经有些模糊了，但瓶身擦得很干净，没有落灰。他想起那个六十六岁从实验室走出来创业、七十七岁把公司带上市的老人。
第一批试产的树脂，各项指标都不行，但魏祥清没有扔掉。他把瓶子摆在车间里，让每个走进来的人都能看到：从那里开始，一步一步走到今天。
林深在笔记本上写下一行字：产线正在每天运行测试。然后在旁边加了一个小注：车间里还摆着第一批失败的样品，擦得很干净。
华曜证券的陆光明站在调配系统旁边，打量着那台设备。“王总，跟日本供应商那边合作顺利吗？有没有遇到过设备出口限制的问题？”
王金龙说。“设备本身没有问题，但核心技术他们是不会卖的——配方数据库、工艺优化算法、缺陷分析模型，这些才是光刻胶最值钱的东西，人家不会放在设备里一起卖给你。”
他指了指调配釜旁边一台稍小一些的设备，“所以最关键的不是这台调配设备，是旁边那台我们自己研发的树脂合成反应釜。调配是工具，合成才是核心。”
冈部健田往前走了半步，他开口的时候，整个调配区都安静了下来。“合成和调配工艺的全套参数，是贵公司自主研发的，还是参考了海外现有技术？”
王金龙的目光转向他。“基础原理是全球公开的，光刻胶的化学体系在学术界已经研究了很多年。但具体的配方比例和工艺窗口，每一步都是自主研发的。光刻胶不是买一台设备、抄一个配方就能做出来的东西，需要大量实验数据积累。”
冈部听完轻轻点了点头，没有继续追问。他侧过头用跟李容阙低声交谈了几句。李容阙合上了手里的笔记本，两人往调配釜的方向走了几步，落在队伍的最后面。
林深把这一幕收进眼里，冈部问的不是设备来源，是技术来源——他不太关心东大光电买了什么设备，似乎是更在意东大光电自己做不做得了配方。
王金龙带着众人穿过一道防火门，走进隔壁的树脂合成实验室。“接下来各位要看的是光刻胶的核心环节——树脂合成，这位是我们光刻胶项目的研发总监，林景义博士。”
林景义已经在里面等着了，穿着白色实验服，戴着一副厚框眼镜。
王金龙补了一句：“林博士是清华化学系毕业的，在日本干了多年光刻胶研发，一六年回国加入我们，整个ArF项目从头到尾都是他在带。”
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