第134章 接受军方任务（2 / 2）
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国营光东电工厂超净车间密闭无尘，恆温系统持续运转，滤尘设备发出细碎平稳的嗡鸣，消解了所有多余的声响。
整间车间笼罩在半导体工艺专用的暖黄色安全灯下，褪去了刺眼的白光，只为保护光刻胶涂层不受光线干扰。
空气里浮动著高纯氮气、光刻胶与有机溶剂交织的清冷淡味，每一寸空气都经过层层过滤，连飘落的微尘都近乎绝跡。
身著全套白色洁净服的眾人包裹得严严实实，头罩、口罩、无菌手套、无尘鞋缺一不可，只露出一双双凝神专注的眼睛，在暖黄灯光下熠熠生辉。
苏砚佇立在光刻工艺操作台旁，身姿挺拔沉稳。
连日扎根车间通宵调试，她的眼底藏著淡淡的青黑，眉眼间却没有半分疲態，只剩极致的专注与篤定。
面前的操作台一尘不染，整齐摆放著待测试的硅片、精密镊子、刻度记录本与调试工具，页面上密密麻麻写满了叠代数百次的工艺参数。
柵氧生长温度、扩散炉恆温时长、光刻对准误差、源漏掺杂配比，每一组数据都是她依託成熟的dtl双极工艺，反覆推翻、反覆调试摸索出的关键依据。
身旁两名年轻技术员正俯身紧盯显微镜，反覆核对刚出炉的pos管芯切片，神情紧绷，眉宇间藏著一丝焦灼。
这段时间，他们最大的难题始终是柵极边缘毛刺、局部掺杂不均，屡屡拉低硅片成品率，好几次即將成型的工艺参数，都因这两处瑕疵功亏一簣。
年轻技术员压著心底的忐忑，轻声匯报，声音被口罩闷得低沉含糊。
“苏工，这批试样还是老问题。光刻显影后，柵极线条边缘不够平滑，有细微毛刺，而且部分片区掺杂浓度偏差超標，达不到量產標准。
我们按照原dtl工艺参数微调过几次，偏差反而更大。”
苏砚闻言没有立刻开口责备，只是微微頷首，抬手微调显微镜焦距，动作轻柔稳当，力道精准分毫不差。
她俯身凑近目镜，目光沉沉落在微小精密的管芯结构上，细细观察纹路、涂层与掺杂层次，几秒后便精准摸清了问题根源。
她直起身，指尖轻点记录本上的两组核心参数，语气平稳温和，却带著不容置疑的专业底气，字字清晰、条理分明。
“dtl是双极工艺，和我们现在攻坚的pos工艺底层逻辑完全不同，不能直接套用老参数。
双极工艺侧重电流放大，而pos核心在柵氧层的均匀度和可控性，生搬硬套只会出现边缘畸变、掺杂失衡。”
说著，她侧身让出操作台的位置，示意技术员上前实操观摩。
暖黄灯光落在她洁净服肩头，沉稳的嗓音在机器嗡鸣中清晰传开，耐心拆解每一处操作细节。
“接下来调整两组关键参数。第一，把氧化炉恆温区间上调三摄氏度，延长二十分钟恆温保持时间，让柵氧层生长得更均匀致密，从根源减少边缘毛刺。
第二，降低离子注入速率，放慢掺杂进度，寧可慢一点，也要保证整片硅片的掺杂浓度均匀统一，杜绝局部偏差。”
两名技术员连忙上前，一人紧盯仪器錶盘记录参数，一人俯身核对显微镜下的管芯状態，紧绷的神经渐渐鬆弛。
苏砚一边紧盯设备运行状態，一边趁热打铁，纠正团队固化的老工艺思维。
“大家要记住，我们现在是在成熟的dtl工艺线上，硬生生开拓os集成电路的量產路径，不是简单的参数微调，而是工艺体系的革新。
以往进口零散ic参数杂乱、没有统一標准，我们现在每一次精准调试，都是在搭建属於我们自己的国產工艺规范。”
她抬手拿起一片调试合格的硅片，举到灯光下，薄如蝉翼的硅片泛著清冷细腻的光泽，规整均匀的电路纹路清晰可见。
“你们看，合格的pos小规模集成电路，线条平直无毛刺、掺杂均匀无偏差，这就是我们要落地的量產標准。
后续我们制定的逻辑ic、运算放大器国產规范，就要以这套工艺参数为基准，彻底摆脱对进口晶片的依赖，优先保障军用电台、精密仪器仪表的核心供给。”
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