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第802章 欧皇妲:我不太懂光刻胶(2 / 2)

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我带著团队试了三个月,调整了三十多种聚合物配比,始终突破不了。”

程新彤有些失落,她没想到自己带领的团队,还真就迟迟没法解决这个问题。

自己好歹从校园出来后,也从事这方面的研究二十年。

结果科技就是这样,突破不了,就是没法突破。

稍作停顿后,她继续往下分析。

“第三,敏感度。”程新彤的声音带上了一丝疲惫,“13n製程用的光源波长极短,能量密度很高。我们的光刻胶要么敏感度不够,曝光时间太长影响產能;

要么敏感度上去了,但又会出现严重的產酸扩散,导致图案模糊。

这个平衡点,我找了国內三个顶尖团队会诊,都没给出可行方案。”

“我也请教过导师……导师一时间也没有什么建议。”程新彤苦涩的说道,“只说需要多尝试,用时间来试错。”

程新彤面露无奈,时间,她现在最缺的就是时间!

自从跟光电集团合併后,强强联合,公司的业务方面需要她担心的並不多,因此研究资金也丰裕了不少。可是如果再迟迟没法突破。

跟不上樱花国的前沿光刻胶步伐,那恐怕將会错过这个千载难逢的机会。

特別是紫晶工厂作为自研光刻机的机构,一旦对南彤光电失望,选择支持其他的光刻胶,那缺乏后续持续资金的投研,恐怕將会被淘汰。

旁边一位戴眼镜的男研究员补充道:“程总,还有缺陷率的问题。上周测试的批次,显影后缺陷密度还在30个/平方厘米以上,紫晶那边要求低於5个。”

程新彤点了点头,看向欧皇妲:“小师妹你看,解析度、lwr、敏感度、缺陷率,每一个都是死结。

现在紫晶那边的採购部已经放话了,如果三个月內拿不出达標的小批量样品,他们就要考虑在跟其他的厂家合作,支持其他厂家的光刻胶研究。

甚至……他们要自己展开研究。师姐我也是没办法了。”

程新彤无奈的说著。

会议室里安静了几秒。

秦嵐在一边如听天书,但她心里觉得:“这不会是紫晶工厂为了刺激新彤故意放出狠话吧目前国內最顶级的就是新彤,再支持其他厂家,那不是要耗费更多时间么。”

欧皇妲放下奶茶杯,走到大屏幕前,目光扫过那些密密麻麻的参数表格和分子结构式。

“师姐,你们的聚合物骨架用的是甲基丙烯酸酯类吧”欧皇妲忽然开口。

程新彤跟著她的目光,立即回答道:“对,pa衍生物,目前国內最成熟的体系。”

“光酸產生剂呢三芳基硫鎓盐”

“是。”

“淬灭剂用的三级胺”

“没错。”程新彤眼睛亮了一下,“小师妹你怎么一眼就看出来了”

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