第728章 只有材料的进度最迅速……（1 / 2）
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哪怕是拥有诸多支持，拥有大量的资源，研製光刻机依旧是困难重重。
他指著光学系统，说道：“duv光刻机需要由15-20个直径200-300的透镜组成的透镜组；
euv光刻机则需要由20多块“锅底大”的镜片串联组成的反射系统。
镜面表面起伏要求极其严苛，如30长的镜子起伏不超过0.3n！”
“这一项技术，目前在国內，还没有能实现。”
“更別说对光学元件进行原子级精度的拋光和高精度镀膜……”
郭汝京一想到这些完全没有储备的技术，就觉得头脑发热。
单一研製光刻机的国家，基本不存在。
而现在，紫晶工厂要做的，就是突破这全球的限制，完全依赖国內的厂家，或者自身研製，造出一台光刻机来！
“0.3n的起伏……这，郑稳都摸不出来吧”蒋新松有些咋舌。
“嗯，我已经联繫了国內几家光学顶尖的实验室，諮询了一番，但暂时还是没有消息。”郭汝京指著上面任务里的备註，写著正在求助，待攻克。
蒋新松理了理头绪，然后看向运动模块，问道，“工件台与掩模台的进度，怎样了”
“精密运动与定位系统啊……”郭汝京又点开另一个模块，面露难色的说道：“情况也不太妙啊！”
他一一点开里面的详细任务，这个蒋新松倒是不需要他的解释，就完全能看懂。
製造能够在高速运动下（如扫描曝光）实现亚纳米级定位精度的双工件台系统。
其定位精度需小於10n，甚至要达到3n以內的套刻精度要求。
研发应用雷射干涉仪、光柵尺等超精密测量传感器，以及直线电机、压电陶瓷等驱动器，实现对晶圆和掩模版的实时位置反馈与控制。
这些都是超精密的器件。
如果只是一般的光柵尺，或许万八千就能买到，但是要放在光刻机上，显然不够。
蒋新松看著性能的点击，才能实现运动的精度。”
“而因为灯塔国的制裁，发那科、西门子等大集团，都已经中断了咱们採购性能级以上的电机……”
他觉得十分棘手。
现在的情况，真的就是，几乎是一颗螺丝，都得自己造，人家都不肯卖给你。
而这些，在国內又没有替代品。特別是高端电机，目前初苗集团的德多电机，就已经是国產电机的领军人物了。
压根找不到第二家能直接买来使用的。
“哎，还是得等老钱发力啊！”郭汝京感慨说道。
好在这条路也不是只有他一个人，整个光科技项目，牵扯进来的团队不下百个，上万名工程师，都在研究著。
其中还有不少高校的团队，也在接到紫晶工厂的委託研究任务后，加入到研究行列中来。
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