第229章 步进式光刻机成功！（2 / 2）
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到了集成电路，虽然工艺思路上还是『平面工艺』那套，但实际的工艺和流程会复杂太多。
电晶体那时还无需“流片”，而到了集成电路这块，流片算是整个集成电路成不成功的决定性標誌。
尤其是越大规模的集成，“流片”的难度也会以指数级上升！
…
五天后，国庆的庆典在首都刚过。
今年沈永健同样受到了邀请，只是因为流片的掩膜版工作原因，最终是放弃了出席。
好在首都微电子厂还有张厂长作为代表前去出席，同时厂里的二代电视机也再次成为献礼產品。
一连三年，微电子厂已然成为献礼专业户。
当然，今年国庆献礼之中最亮眼的並非是电视机或者冰箱这种家用电器，而是国內重工业的又一项突破，红旗轿车！
报纸和新闻眼下的话题也全在这款自主生產的汽车上。
只是外界的一些纷纷扰扰，此刻都没法打扰沈永健的工作思绪。
今日的保密研製车间內。
那台银色的庞大机器还在由数人连班接力，日夜不停进行测试。
其中套刻精度测试已经在今早完成。
这会儿上午八点多，研发处的同志因昨日收到通知，已早早再度聚在此处。
当照明均匀性测试的最后一组数据在示波器上定格时，屋外沈永健也带著周克勤等人踏入。
卓邵文才將数据记录，目光便立刻望向他，乾裂的嘴唇动了动，带著振奋的沙哑声线在车间內响起。
“畸变率0.12%，场曲误差±0.18微米…”
“沈工！畸变与场曲测试，照明均匀性测试皆达標！”
沈永健接过他手中递来的测试报告数据，一共五项检测，数据悉数达標，甚至个別几项还超过了他设计时的理论预期。
在反覆检测之后，沈永健最终点了点头。
在眾人希冀的目光下，最终振奋且坚定的开口宣布道。
“同志们，咱们第二代步进式光刻机，研製完成！”
“依照目前的光刻机性能，绝对是国际第一！”
步进式光刻机，一个划时代的光刻机。
在眼下国际上还只有接触式光刻机，甚至发达国家的个別研究所还在用“土光刻机”的背景下。
这台步进式光刻机，绝对是里程碑式的进步。
代表著国內光刻工艺第一次超越各国，坐上国际第一的位置上！
“呼！”
卓邵文当下长舒了口气。
光刻机的重压一直由他担著，四个月的各单位组织联繫，协调生產与检测工作。
直到今天，在沈永健这个眼下国內微电子领域的权威者口中宣布落成。
当下最先感到的是一阵轻鬆，原先挺直绷紧的脊背也隨著长嘆鬆懈下来。
从最早的土光刻机，到如今的第二代光刻机，他早已將研究重心全放在这一块上。
哪怕实际二代光刻机的图纸並非是他主导，但能辅助设计最终由自己落实，他心中也早已满足。
鬆懈下不过片刻，心中一股自豪感油然而生！
双拳紧紧攥著，目光再度投向沈永健。
只是沈永健这会儿可没像他这般放鬆，只是等眾人稍稍缓和后便立刻下达指令道。
“准备流片！”
……
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