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第58章 命运的摇头(2 / 2)

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李观看了眼时间,再次穿戴妥当进了洁净区。

“他怎么又进去了”

“谁知道实验没做完”

“有点太卷了吧。”

“听老向说他下午做的实验数据,比老包之前最高的那次还要好。”

“真的假的”

“我也听说了,说是迁移率直接干到300了,还是老包亲自检测的数据。”

“这么嚇人哪儿来的大神啊清北的科院没听说过这號啊”

洁净室里的李观根本听不到外面大家的议论,听到也只会一笑而过,当下最重要的是观察二硫化鉬单晶薄膜是否製备成功。

“真成了!”

从显微镜中看到薄膜的时候李观有些开心,他在做之前並不能保证百分百的成功率,甚至只有一半一半的把握。

一半成,一半重来。

毕竟是完全不同的技术路线,尤其是只要单晶而不堆叠,这非常考验他的技术。

这下成了,他的心也放下了一半。

“接下来就该静电转印了。”

他启动静电印章,静电力瞬间捕获了这片单晶薄膜,他缓缓地將其转移至新的sio?衬底,全程没有任何的污染,毕竟纳米层级有一丝的沾染都只有失败的结局。

“接下来就是最为困难的一步了。”

如果说前面是五五开,那这个步骤就只有三七开了,李观做好了失败的准备。不行就凌晨出去跑三公里,强制重启新一天,连夜重开。

他將衬片转移进了ald腔內。

“通氮吹扫,温度升至150°c。”

李观有些紧张地默念著,按下了启动键。

腔內温度稳定后,三甲基铝脉衝注入,分子在薄膜表面吸附,与之反应形成了单层al–ch?,多余的被氮气吹走。

接著水蒸气脉衝注入,水解了残留物,在薄膜表面生成了al?o?。

这样循环一次仅能生长0.11n,而需要3n厚度就需要循环30次,要保证吸附均匀,一次不能出错。否则后续就会像被搭歪了的积木一般,前功尽弃。

“稳住。”

李观心中默念,设定了30次循环。

监控屏幕上,显示著材料质量在逐步增加。半个小时后,沉积完成。

“好像是成了”

一直在一旁观察的李观极为紧张。比马上要五杀了,对方最后一人也就丝血了,但身旁却突然亮起了两道闪现的亮光来的还要紧张。

他有些紧张地看著显微镜下的画面,平整,均匀,无杂质。

“成了!真成了!”

“我必须立马开始光刻!”

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