第87章 震惊的京城，国家最高级別科技机密（1 / 2）
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三天后，北京。
某保密会议室，气氛凝重如铁。
沙瑞金呈报的《关於汉东省崇明科技突破38n光刻机核心技术的紧急报告》被摆在长桌中央。
国防科工局、工信部、中科院、国家大基金负责人围坐一圈，人人面色肃然。
“47项底层核心专利……绕开asl全部封锁节点……”
一位白髮老者推了推眼镜，声音微颤：“这要是真的，中国晶片產业的歷史，今天就要改写。”
会议仅持续四十分钟，结论却石破天惊：
一、列为国家最高级別科技机密（绝密芯盾级）；
二、成立“02专项光刻机突击组”，由中科院院士牵头；
三、赵崇明所需一切资源——人才、设备、资金、政策——全国优先保障，汉东省委全力配合。
末了，一个大领导只说了一句：
“告诉那个年轻人——国家等这一天，等了三十年，这一次，我们將领先世界！”
……
……
汉东，南湖机场。
一架军用运输机悄然降落。
舱门打开，七位白髮苍苍的老者鱼贯而出，身后跟著二十多名中青年学者，人人拎著笔记本电脑与厚重资料箱。
领头者是林振邦院士——华夏半导体物理奠基人之一，86岁，拄拐而行，眼神如炬；
其侧是周秉义教授——清华精密仪器系前主任，双工件台领域泰斗；
在旁是吴启明研究员——中科院光电所首席，浸没式光学系统权威。
他们直奔崇明科技总部，未作休整，径直来到了赵崇明的办公室。
赵崇明已在门口等候。
“你就是赵崇明”
林振邦上下打量这个24岁的年轻人，语气不善：“听说你声称掌握了38n浸没式光刻机全套技术”
“是。”赵崇明平静回应。
虽然对方语气不善，但是，到底也是86岁的老大爷，而且，不夸张的说一句，这是真正的国士无双。
自己客气一点也是应该的。
林振邦问道：“你弄得这些专利，这些理论都是你弄出来的”
“我自己也组建了一个团队！”赵崇明笑了笑。
“好！”
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周秉义一步上前，语速如电，“我问你——双工件台在500/s高速运动下，如何抑制纳米级振动耦合你的磁悬浮线圈布局是几极反馈延迟多少纳秒”
赵崇明不假思索：“六极halbach阵列，主动阻尼+预测控制，延迟≤12ns。”
吴启明立刻接话：“浸没流体在晶圆边缘的arangoni效应如何补偿”
“动態密封环+局部温度梯度调控，附图见白皮书第38页。”
“光学像差校正用zernike多项式到几阶”
“36阶，实时叠代，每曝光场更新一次。”
七位老教授轮番发问，问题从材料热膨胀係数到雷射脉衝时序，从真空腔体残余气体分析到洁净室气流组织——
整整三个小时，赵崇明对答如流，无一迟疑。
林振邦盯著他，震惊了。
这小子知道的东西也太杂了吧
杂也就算了。
关键是，每一样都还是对答如流，很深入。
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