第110章 近接式光刻机，微米级微调机构！（2 / 2）
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“有了觉得20w次每秒能搞出来的想法”
很快。
黄琨和林嵐因就说完了她们负责部分的问题。
並且提出了一些思路。
江阳没有急著评价，而是看向王寿吾。
后者摆了摆手，道：
“黄教授和林教授说得很全面，我没什么补充的。”
闻言，江阳頜首道：
“好，那我来说。”
“其实刚刚林教授的想法很不错。”
“我们现在的接触式光刻，缺少精密系统的辅助—.”
他一边说。
一边在身后的小黑板上写下几个关键点。
一掩膜与基片直接接触、光源简陋、手工操作。
总体上。
是根据林嵐因的思路，先去分析简易光刻机的缺陷。
待江阳说完后。
林嵐因立刻道：
“所以我们现在是要完成標准的接触式光刻吗”
她在帝时。
听说过接触式光刻的理论。
但目前来说，还没有一个很好的应用。
江阳道：
“不完全是。”
“接触式光刻其实存在个明显的缺陷。”
“近距离的物理接触，会导致掩膜的损失，大大降低寿命。”
他说完后。
林嵐因、黄琨和王寿吾，陷入沉思。
不採用接触式的话。
就完全没有可以依照的理论，只能摸著石头过河。
就在这时。
江阳继续道：
“所以我们需要保留掩膜与晶圆间微小的间隙。“
“没有物理接触。”
“自然能有效地提掩膜的使用寿命。”
林嵐因道：
“可是这样的话，恐怕需要更高的曝光时间。，“而且间隙控制。”
“没有够精度的调整机构，恐怕难以做到。”
江阳没有立刻回应。
而是默默地將手伸向隨身的挎包。
然后在三人果然如此的眼神中，拿出调整机构的研究方案。
林嵐因正想接过。
一旁的王寿吾忽然道：
“咦，江教授，您这次的案內容，以前多了很多啊！”
他说完后。
林嵐因何黄琨看著研究方案，也觉得不对。
就算是研製计算器时。
江阳都只给了大体的框架和简单的方向。
一个调整机构。
再难应该也不至於，需要这么多的稿纸去阐述研究方案。
江阳道：
“其实这里有两套方案。”
王寿吾惊讶道：
“两套”
一旁的林嵐因和黄琨整了整，也露出疑惑的表情。
当然，他们並不是因为数量多。
而是觉得。
以江阳的能力，不应该会出现同时两套方案的情况。
想到这里。
王寿吾道：
“要不召集专家团，再討论几天，或许能给您一些参考。”
江阳道：
“不用这么麻烦，两套案都是可的。”
“只是效果不同。”
“第二套更好，是给我们的。至於第一套——拿来出！”
他其实有4套微调机构的方案。
但就现在的条件。
最多只能做到第二套，气浮轴承+气压控制。
王寿吾道：
“出口，这能行吗”
他有些茫然。
毕竞以前华国都是从国外进口技术和设备。
至於出口。
只有农產品和矿產资源有点价值。
技术上。
根本没有国外能够看得上的东西。
这也是华国外匯储备长期缺乏的原因之一。
江阳笑道：
“当然能行。”
“不仅是微调机构。”
“以后光刻机，也要出口，我们得做好准备才行。”
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