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第78章 理论准备,晶圆加工的技术链!(2 / 2)

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是亚微米级几何精度,与原子级表面洁净度的双重控制。

隨著江阳阐述的深入。

眾人原本信心十足的表情,都变得有些呆愣起来。

这真的是他们现在能研究的

即便是王寿吾、林嵐因和黄琨三人,都头皮麻烦。

以江阳的要求。

恐怕要换帝和老大哥,才有可能实现。

就在所有人面露愁容时。

江阳道:

“但话又说回来。”

“即便不能达到最佳效果,我们依旧有著完成研究的可能。”

“比如使用碳化硅砂轮,替代金刚石砂轮,先把有没有的问题解决了。”

听到这番话。

眾人不约而同地长鬆一口气。

还好有替代方案,否则他们都不知道怎么去研製。

王寿吾想了想,道:

“江教授,所以您是打算设计一款碳化硅砂轮切片机吗”

“毕竟我们现在的设备。”

“恐怕没有办法,去满足晶圆切割的需求,必须要有创新。”

闻言,下方无论是教授,还是年轻的研究员。

目光都是一亮。

自主设计,追赶帝和老大哥,永远是一个诱人的选项。

江阳摇头道:

“本来就是替代的东西,用不著费那么大的精力。”

“我根据老大哥的tsh-2型碳化硅砂轮切片机。”

“进行了简单的优化,让它更加適合针对硅平面工艺的需求。”

他一边说著。

一边回过头,绘製出设计草图。

j5060和tsh-2的技术差异,其实还是挺大的。

前者通过更细粒度砂轮和薄型化设计,將切割的损耗降低了一半,精度也有显著提升看著侃侃而谈的江阳。

眾人“刷”的,將笔记写得飞起,根本停不下来。

因为,全是要点。

为什么多喷嘴喷射冷却,能够提高散热效率。

分段式砂轮的刀片结构,为什么可以降低砂轮厚度。

这些他们一时都搞不明白。

但眾人清楚。

既然江阳说出来,至少理论上,已经没有太大的问题。

所以他们要做的,就是事无巨细地將每一个字记下来。

然后再去慢慢实验。

会议一直持续到晚上。

才终於结束。

除了j5060碳化硅砂轮切片机外。

江阳在后面。

还提到化学机械拋光设备、光刻设备和真空镀膜等设备的问题。

这些设备,华国基本都没有。

好在替代的方案,也能满足现有的研究需求。

就是需要牺牲一点质量。

比如化学拋光设备,就可以通过机械拋光+化学腐蚀来替代。

不过对於光刻机。

江阳提出了不一样的要求。

他在最后,道:

“光刻机,是半导体领域的核心设备。”

“它直接决定集成电路的製程工艺和性能机械。”

“所以我建议,成立一个光刻机攻关小组,进行自主设计工作。”

听到这话。

王寿吾、林嵐因和黄琨三人,当即表示赞同。

其他人自然更不可能有意见。

不过他们等了半天。

都没等到后续。

这让黄琨忍不住,道:

“江教授,图呢”

以往江阳说完。

一般都会给出设计草图,哪怕並不完善。

这回,不应该例外才对。

江阳疑惑道:

“什么图”

黄琨:

二

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